Анализ корректности диагностики мощного ионного пучка по плотности ионного тока

Bibliographic Details
Parent link:Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956-
№ 5.— 2015.— [С. 91-98]
Main Author: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра общей физики
Other Authors: Исакова Ю. И. Юлия Ивановна, Хайлов И. П. Илья Павлович
Summary:Заглавие с экрана
Представлены результаты сравнительного анализа корректности диагностик мощного ионного пучка по амплитуде импульса плотности ионного тока и по плотности энергии. Показано, что при воздействии импульсного ионного пучка наносекундной длительности основным фактором, определяющим изменение свойств изделия, является тепловое воздействие, а не имплантация ионов. Выполнен анализ влияния разброса энергии ионов, состава ионного пучка, ускоренных нейтралов, изменения ускоряющего напряжения, локальности диагностики и других факторов на точность контроля воздействия ионного пучка на мишень. Получено, что анализ стабильности теплового воздействия ионного пучка на мишень по амплитуде импульса плотности ионного тока дает завышенную величину стандартной девиации. Показано, что измерение плотности энергии обеспечивает более корректную и полную информацию, не содержащую систематических погрешностей.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2015
Subjects:
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=25344395
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652311