APA ציטוט

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, and Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.

ציטוט MLA

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.