Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, i Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.