Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016.
Chicago-viite (17. p.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, ja Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.
MLA-viite (9. p.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.