Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016.
Style de citation Chicago (17e éd.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, et Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.
Style de citation MLA (9e éd.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Investigation of Deposition Efficiency Increase Mechanisms Using Pulsed Magnetron Sputteringsystems with Hot Target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1. 2016, 2016.