Современные технологии в микроэлектронике электронный курс

Современные технологии в микроэлектронике, электронный курс

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Summary:	Заглавие с экрана Целью курса является знакомство студентов с физическими основами микроэлектроники. Формирование базовых знаний и комплекса умений, необходимых для решения задач в области проектирования и изготовления интегральных микросхем. Доступ по логину и паролю
Published:	Томск, TPU Moodle, 2014
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ электронное обучение электронные курсы ТПУ полупроводниковые микросхемы литография травление тонкопленочные покрытия имплантация учебные пособия электронные учебные пособия
Online Access:	http://design.lms.tpu.ru/course/view.php?id=338
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=651662

Internet

http://design.lms.tpu.ru/course/view.php?id=338