Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, & Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. (2016). Evaporation factor in productivity increase of hot target magnetron sputtering systems; Vacuum; Vol. 132. 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, и Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. Evaporation Factor in Productivity Increase of Hot Target Magnetron Sputtering Systems; Vacuum; Vol. 132. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030.
Цитирование MLA (9-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, et al. Evaporation Factor in Productivity Increase of Hot Target Magnetron Sputtering Systems; Vacuum; Vol. 132. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030.