Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, & Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. (2016). Evaporation factor in productivity increase of hot target magnetron sputtering systems; Vacuum; Vol. 132. 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030
Chicago-referens (17:e uppl.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Borduleva A. O. Alena Olegovna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, och Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. Evaporation Factor in Productivity Increase of Hot Target Magnetron Sputtering Systems; Vacuum; Vol. 132. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030.
MLA-referens (9:e uppl.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт, et al. Evaporation Factor in Productivity Increase of Hot Target Magnetron Sputtering Systems; Vacuum; Vol. 132. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.07.030.