Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altres autors:	Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, Гребнев В. А. Василий Александрович
Sumari:	опубл. 10.09.11 Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
Idioma:	rus
Publicat:
Matèries:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения слои поликристаллический кремний хлорсиланы термическое разложение полупроводниковые материалы электронные приборы
Accés en línia:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
Format:	Electrònic Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649761

Ítems similars

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicat: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicat: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicat: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicat: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicat: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: (2007)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicat: ()

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
per: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicat: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2013)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Publicat: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Publicat: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
per: Цивинская Ю. С.
Publicat: (2012)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Publicat: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2011)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicat: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Publicat: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Publicat: ()

Роль поверхностных слоев и внутренних границ раздела в сопротивлении ползучести поликристаллического алюминия
per: Борисюк Д. В.
Publicat: (2016)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
per: Лапатин Л. Г.
Publicat: (2009)

Способ получения диоксида кремния
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.08
per: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Publicat: (Томск, 2014)

Способ получения особо чистого кремния
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.08
per: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Publicat: (Томск, 2014)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.08
per: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Publicat: (Томск, 2014)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
per: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicat: ()

Позитронная аннигиляция в объеме и поверхностных слоях поликристаллического никеля после ультразвуковой финишной обработки
Publicat: (2015)

Исследование структуры материала в местах формирования "шейки" и разрушения образцов поликристаллического Al
Publicat: (2009)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation
Publicat: (2014)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления
Publicat: (2009)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
Publicat: (2020)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
per: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicat: (2012)

Способ очистки сточных вод
Publicat: ()

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния
per: Карелин В. А. Владимир Александрович
Publicat: (2005)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана
per: Ким А. Б. Алексей Богович
Publicat: (2014)