Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
مؤلفون آخرون:	Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, Гребнев В. А. Василий Александрович
الملخص:	опубл. 10.09.11 Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
اللغة:	الروسية
منشور في:
الموضوعات:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения слои поликристаллический кремний хлорсиланы термическое разложение полупроводниковые материалы электронные приборы
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
التنسيق:	الكتروني كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649761

مواد مشابهة

Установка для получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
منشور في: ()

Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
منشور في: ()

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
منشور في: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
حسب: Кабышев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2013)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2009)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
منشور في: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
منشور في: ()

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
منشور في: (2009)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
منشور في: ()

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
حسب: Цивинская Ю. С.
منشور في: (2012)

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
منشور في: ()

Реактор водородного восстановления кремния
منشور في: ()

Способ получения диоксида кремния
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()

Способ получения особо чистого кремния
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Роль поверхностных слоев и внутренних границ раздела в сопротивлении ползучести поликристаллического алюминия; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
حسب: Борисюк Д. В.
منشور في: (2016)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
حسب: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2011)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
حسب: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
منشور في: (Томск, 2014)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
حسب: Лапатин Л. Г.
منشور في: (2009)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
حسب: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
منشور في: (Томск, 2014)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
حسب: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
منشور في: (Томск, 2014)

Исследование структуры материала в местах формирования "шейки" и разрушения образцов поликристаллического Al; Современные техника и технологии; Т. 2
منشور في: (2009)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
منشور في: (2014)

Позитронная аннигиляция в объеме и поверхностных слоях поликристаллического никеля после ультразвуковой финишной обработки; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
منشور في: (2015)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
منشور في: (2009)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
منشور في: (2020)

Способ очистки сточных вод
منشور في: ()

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
حسب: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
منشور في: (2012)

Способ определения энергии ускоренных электронов
حسب: Сорокин В. Б. Владимир Борисович
منشور في: ()

Тракт формирования электронного пучка
منشور في: ()