Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Awduron Eraill: Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, Гребнев В. А. Василий Александрович
Crynodeb:опубл. 10.09.11
Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
Iaith:Rwseg
Cyhoeddwyd:
Pynciau:
Mynediad Ar-lein:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
Fformat: Electronig Llyfr
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649761