Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Bibliographic Details
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, Гребнев В. А. Василий Александрович
Summary:	опубл. 10.09.11 Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения слои поликристаллический кремний хлорсиланы термическое разложение полупроводниковые материалы электронные приборы
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649761

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf