Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Awduron Eraill:	Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, Гребнев В. А. Василий Александрович
Crynodeb:	опубл. 10.09.11 Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:
Pynciau:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения слои поликристаллический кремний хлорсиланы термическое разложение полупроводниковые материалы электронные приборы
Mynediad Ar-lein:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
Fformat:	Electronig Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649761

Rhyngrwyd

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf