|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
649761 |
| 005 |
20231102025655.0 |
| 029 |
1 |
0 |
|a RU
|b 2428525
|c Пат.
|d МПК C 30 B 29/06
|d МПК C 30 B 28/14
|d МПК C 01 B 33/035
|d МПК C 30 B 25/02
|d МПК C 30 B 30/02
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\14923
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\14922
|
| 039 |
0 |
|
|a RU
|b 2010107936/05
|c 20100303
|
| 090 |
|
|
|a 649761
|
| 100 |
|
|
|a 20160808j20110910k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a k 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
|f С. В. Образцов [и др.]
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a опубл. 10.09.11
|
| 330 |
|
|
|a Изобретение относится к хлорсилановой технологии получения поликристаллического кремния путем химических реакций водородного восстановления хлорсиланов и термического разложения полученного моносилана на нагретых стержневых основах и может найти применение в производстве полупроводниковых материалов и электронных приборов.
|
| 610 |
1 |
|
|a патенты
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a изобретения
|
| 610 |
1 |
|
|a слои
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a хлорсиланы
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое разложение
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные приборы
|
| 701 |
|
1 |
|a Образцов
|b С. В.
|c русский советский театральный деятель, актер и режиссер
|f 1901-1992
|g Сергей Владимирович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30161
|9 14559
|
| 701 |
|
1 |
|a Налесник
|b О. И.
|c химик-технолог
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1939-
|g Олег Иванович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31832
|
| 701 |
|
1 |
|a Дмитриенко
|b В. П.
|c химик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат химических наук
|f 1951-
|g Виктор Петрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31063
|
| 701 |
|
1 |
|a Гребнев
|b В. А.
|c заведующий лабораторией
|c кафедра 43 (химическая технология редких, рассеяных и радиоактивных элементов) Томского политехнического университета
|g Василий Александрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25179
|9 11262
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160808
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2011FULL/2011.09.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/428/525/document.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
