Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, & Гребнев В. А. Василий Александрович. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, and Гребнев В. А. Василий Александрович. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.