Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, & Гребнев В. А. Василий Александрович. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Образцов С. В. Сергей Владимирович, Налесник О. И. Олег Иванович, Дмитриенко В. П. Виктор Петрович, i Гребнев В. А. Василий Александрович. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе.