Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 6.— 2016.— [С. 81-85] |
|---|---|
| Yhteisötekijät: | , |
| Muut tekijät: | , , , , |
| Yhteenveto: | Заглавие с экрана Показано, что изменение импульсного потенциала смещения при катодно-дуговом осаждении нитрида титана оказывает существенное влияние на структуру и состав покрытий, а также на количество микрокапельной фракции. Потенциал смещения выше 50 В приводит к снижению скорости роста покрытия, связанному с процессом перераспыления покрытия ускоряемыми ионами плазмы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Kieli: | venäjä |
| Julkaistu: |
2016
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | http://elibrary.ru/item.asp?id=26068841 |
| Aineistotyyppi: | Elektroninen Kirjan osa |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649057 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 649057 | ||
| 005 | 20250227161227.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\14218 | ||
| 090 | |a 649057 | ||
| 100 | |a 20160617d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения |f Е. Б. Кашкаров [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 11 назв.] | ||
| 330 | |a Показано, что изменение импульсного потенциала смещения при катодно-дуговом осаждении нитрида титана оказывает существенное влияние на структуру и состав покрытий, а также на количество микрокапельной фракции. Потенциал смещения выше 50 В приводит к снижению скорости роста покрытия, связанному с процессом перераспыления покрытия ускоряемыми ионами плазмы. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |d 1995- | ||
| 463 | |t № 6 |v [С. 81-85] |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a нитрид титана | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 701 | 1 | |a Кашкаров |b Е. Б. |c физик |c доцент, научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1991- |g Егор Борисович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30728 |9 14999 | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b Н. Н. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1953- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364 |9 11325 | |
| 701 | 1 | |a Сыртанов |b М. С. |c физик |c доцент, научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1990- |g Максим Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34762 |9 18112 | |
| 701 | 1 | |a Сутыгина |b А. Н. |c физик |c техник Томского политехнического университета |f 1993- |g Алина Николаевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\37676 |9 20481 | |
| 701 | 1 | |a Гвоздяков |b Д. В. |c специалист в области энергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1985- |g Дмитрий Васильевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26014 |9 11863 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра общей физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734 |9 27183 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Энергетический институт |b Кафедра атомных и тепловых электростанций |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18683 |9 27136 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20170518 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=26068841 |
| 942 | |c CF | ||