Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 6.— 2016.— [С. 81-85]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра общей физики, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Энергетический институт Кафедра атомных и тепловых электростанций
Other Authors:	Кашкаров Е. Б. Егор Борисович, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Сыртанов М. С. Максим Сергеевич, Сутыгина А. Н. Алина Николаевна, Гвоздяков Д. В. Дмитрий Васильевич
Summary:	Заглавие с экрана Показано, что изменение импульсного потенциала смещения при катодно-дуговом осаждении нитрида титана оказывает существенное влияние на структуру и состав покрытий, а также на количество микрокапельной фракции. Потенциал смещения выше 50 В приводит к снижению скорости роста покрытия, связанному с процессом перераспыления покрытия ускоряемыми ионами плазмы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2016
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс нитрид титана осаждение
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=26068841
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649057

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=26068841