Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока; Письма в Журнал технической физики; Т. 38, вып. 6

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока

Бібліографічні деталі
Parent link:	Письма в Журнал технической физики.— , 1975- Т. 38, вып. 6.— 2012.— [С. 9-14]
Автор:	Линник С. А. Степан Андреевич
Співавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Институт физики высоких технологий Лаборатория № 1
Інші автори:	Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич
Резюме:	Заглавие с экрана Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Мова:	Російська
Опубліковано:	2012
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ алмазные пленки тлеющий разряд
Онлайн доступ:	http://elibrary.ru/item.asp?id=20327822 http://journals.ioffe.ru/articles/12670
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649010

Схожі ресурси

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (Томск, 2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (Томск, 2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (Томск, 2013)

Ионное азотирование инструментальных сталей в тлеющем разряде; Физическая мезомеханика многоуровневых систем - 2014. Моделирование, эксперимент, приложения
за авторством: Овечкин Б. Б. Борис Борисович
Опубліковано: (2014)

Синтез алмазных плёнок в плазме импульсного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Кованцев А. С.
Опубліковано: (2011)

Синтез алмазных пленок в плазме наносекундного импульсного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Кованцев А. С.
Опубліковано: (2012)

Исследование генерации низкотемпературной плазмы в тлеющем разряде с полым катодом большой площади; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3-2
Опубліковано: (2014)

Сварка давлением в тлеющем разряде
за авторством: Котельников Д. И. Дмитрий Иванович
Опубліковано: (Москва, Металлургия, 1981)

New set up for diamond coatings deposition in AC glow discharge plasma on WC-Co milling cutters of complex shape; Diamond and Related Materials; Vol. 94
за авторством: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубліковано: (2019)

Химико-термическая обработка металлов и сплавов в тлеющем разряде: учебное пособие
за авторством: Рябченко Е. В. Евгений Васильевич
Опубліковано: (Москва, Машиностроение, 1982)

Улучшение адгезии поликристаллических алмазных пленок на режущем инструменте из WC-Co методом химического травления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 7/2
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (2013)

Влияние кобальта на адгезионную прочность поликристаллических алмазных покрытий на твердых сплавах WC-Co; Журнал технической физики; Т. 88, вып. 2
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (2018)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий; Современные материалы и технологии новых поколений
за авторством: Кунашенко С. Е.
Опубліковано: (2019)

Механизм образования защитных пленок на алмазных кругах с металлической связкой; Инновационные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
за авторством: Янюшкин А. С.
Опубліковано: (2014)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
за авторством: Строкань Г. П.
Опубліковано: (2003)

Физические основы электроники. Газовый разряд учебное пособие
за авторством: Коротченко В. A.
Опубліковано: (Рязань, РГРТУ, 2013)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
за авторством: Линник С. А. Степан Андреевич
Опубліковано: (2011)

Импульсный несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом большого размера; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 11-3
Опубліковано: (2014)

Gas-filled electron diode based on a glow discharge; Technical Physics; Vol. 46, № 5
за авторством: Devyatkov V. N.
Опубліковано: (2001)

Оптический спектрометр высокочастотного тлеющего разряда PROFILER2 для послойного анализа твердых тел; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Залогина А. С.
Опубліковано: (2012)

Application of optical emission spectroscopy for the determination of optimal CVD diamond growth parameters in abnormal glow discharge plasma; Vacuum; Vol. 103
за авторством: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубліковано: (2014)

Processes and parameters of diamond films deposition in AC glow discharge; Diamond and Related Materials; Vol. 32
за авторством: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубліковано: (2013)

A silicon films deposition in the process of SIF 4 decomposition in pulsed glow discharge; Известия вузовй. Физика; Vol. 55, № 12-3
Опубліковано: (2012)

Элементы газовой электрохимии: учебное пособие
за авторством: Еремин Е. Н. Евгений Николаевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1961)

Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Опубліковано: (2022)

Автоматизированная система зондовых измерений параметров плазмы разрядов низкого давления; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 11-3
Опубліковано: (2014)

Изотопные эффекты при плазменном распылении титана в кислород-аргоновой среде; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
за авторством: Беспала Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (2015)

Азотирование стали 40х в постоянном и импульсном режимах горения несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 9-3
Опубліковано: (2015)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Опубліковано: (Казань, Изд-во КАИ, 1981)

Вспомогательный тлеющий разряд в узле запуска тиратрона с холодным катодом; Физика плазмы; Т. 42, № 8
Опубліковано: (2016)

Роль эксимерной молекулы в процессе синтеза соединений фтора с благородными газами в условиях импульсного тлеющего разряда; Политематический сетевой электронный научный журнал Кубанского государственного аграрного университета (Научный журнал КубГАУ); № 42 (08)
за авторством: Куликова Е. Ю. Елена Юрьевна
Опубліковано: (2008)

Оптогальванический эффект в ионизованном газе
за авторством: Очкин В. Н. Владимир Николаевич
Опубліковано: (Москва, Наука, 1991)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Опубліковано: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)

Источники электронов высоковольтного тлеющего разряда с анодной плазмой
за авторством: Новиков А. А. Анатолий Александрович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Nitriding of VT1-0 titanium in low-pressure non-self-maintained glow discharge with the use of different gas mixtures; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 2, № 1
Опубліковано: (2008)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации и осаждения покрытий; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Нуржанов Е. Ж.
Опубліковано: (2011)

Исследование диссоциации аммиака, хлора и брома в тлеющем и высокочастотном разрядах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
за авторством: Зимина И. Д. Ирина Дмитриевна
Опубліковано: (Иваново, [Б. и.], 1974)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Опубліковано: (Казань, Изд-во КАИ, 1985)

Успехи прикладной физики: научно-технический журнал
Опубліковано: (Москва, Орион, 2014-)

Особенности изменения структуры интерметаллического соединения TiCr2 фазы Лавеса C36 при гидридном диспергировании; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 10 (730)
за авторством: Мурашкина Т. Л. Татьяна Леонидовна
Опубліковано: (2018)