Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока

Bibliographic Details
Parent link:Письма в Журнал технической физики.— , 1975-
Т. 38, вып. 6.— 2012.— [С. 9-14]
Main Author: Линник С. А. Степан Андреевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Институт физики высоких технологий Лаборатория № 1
Other Authors: Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич
Summary:Заглавие с экрана
Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2012
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
алмазные пленки
тлеющий разряд
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=20327822
http://journals.ioffe.ru/articles/12670
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649010

Similar Items

Similar Items