Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики.— , 1975- Т. 38, вып. 6.— 2012.— [С. 9-14] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Language: | Russian |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20327822 http://journals.ioffe.ru/articles/12670 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649010 |