Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики.— , 1975- Т. 38, вып. 6.— 2012.— [С. 9-14] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | |
| Sumari: | Заглавие с экрана Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2012
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20327822 http://journals.ioffe.ru/articles/12670 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649010 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 649010 | ||
| 005 | 20250227140336.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\14169 | ||
| 090 | |a 649010 | ||
| 100 | |a 20160614d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока |f С. А. Линник, А. В. Гайдайчук | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 14 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Письма в Журнал технической физики |d 1975- | ||
| 463 | |t Т. 38, вып. 6 |v [С. 9-14] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a алмазные пленки | |
| 610 | 1 | |a тлеющий разряд | |
| 700 | 1 | |a Линник |b С. А. |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1985- |g Степан Андреевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28210 |9 13164 | |
| 701 | 1 | |a Гайдайчук |b А. В. |c российский физик |c аспирант, инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1984- |g Александр Валерьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28207 |9 13161 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Институт физики высоких технологий |b Лаборатория № 1 |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 |9 27311 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160614 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=20327822 | |
| 856 | 4 | |u http://journals.ioffe.ru/articles/12670 | |
| 942 | |c CF | ||