Оптико-эмиссионная спектроскопия Аг/Н2/Сн4-плазмы в процессе осаждения поликристаллических алмазных пленок

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 55, № 6/2.— 2012.— [С. 49-54]
Main Author:	Линник С. А. Степан Андреевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Институт физики высоких технологий Лаборатория № 1
Other Authors:	Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2012
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ оптико-эмиссионная спектроскопия
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18441369
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649006

Internet