|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
648972 |
| 005 |
20250904111831.0 |
| 029 |
1 |
0 |
|a RU
|b 2371514
|c Пат.
|d МПК C 23 C 14/35
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\14131
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\13636
|
| 039 |
0 |
|
|a RU
|b 2008134254/02
|c 20080820
|
| 090 |
|
|
|a 648972
|
| 100 |
|
|
|a 20160614j20091027k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a k 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drmn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Дуальная магнетронная распылительная система
|f В. П. Кривобоков [и др.]
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a опубл. 27.10.09
|
| 330 |
|
|
|a Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для нанесения на поверхность твердых тел пленок из металлов и их соединений, синтезированных в результате взаимодействия атомов, распыленных с поверхности металлического катода, и газовой среды.
|
| 610 |
1 |
|
|a патенты
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a катоды
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые среды
|
| 610 |
1 |
|
|a изобретения
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232
|
| 701 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543
|9 14839
|
| 701 |
|
1 |
|a Янин
|b С. Н.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1958-
|g Сергей Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792
|9 15048
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160805
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.10.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/371/514/document.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
