Дуальная магнетронная распылительная система

Bibliographic Details
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Summary:	опубл. 27.10.09 Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для нанесения на поверхность твердых тел пленок из металлов и их соединений, синтезированных в результате взаимодействия атомов, распыленных с поверхности металлического катода, и газовой среды.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронные системы распылительные системы плазменная техника твердые тела пленки металлы катоды газовые среды изобретения
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.10.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/371/514/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648972

Internet