Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, & Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, i Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Дуальная магнетронная распылительная система.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..