APA (7th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, & Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, and Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.

MLA (9th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Дуальная магнетронная распылительная система.