Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, & Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, i Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Дуальная магнетронная распылительная система.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.