Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, & Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, and Янин С. Н. Сергей Николаевич. Дуальная магнетронная распылительная система.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Дуальная магнетронная распылительная система.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.