Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда
| Parent link: | Упрочняющие технологии и покрытия.— , 2005- № 4.— 2016.— [С. 34-38] |
|---|---|
| Enti autori: | , |
| Altri autori: | , , , , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Получены a-C-пленки (1 мкм) в плазме несбалансированного дуального магнетрона путем распыления графитовых мишеней в среде аргона, которые обладают хорошими антифрикционными свойствами. Твердость и модуль упругости образцов составляют 5,8…19,6 и 64,3…185,8 ГПа соответственно, коэффициент трения не превышает 0,2. Достигнута высокая адгезионная прочность покрытий относительно подложки. a-C-thin films (1 mk) were obtained in plasma of unbalanced dual magnetron by means of graphite targets sputtering in Ar environment. Hardness and elastic modulus of samples are 5.8…19.6 and 64.3…185.8 GPa. The friction coefficient is lower 0.2. The high adhesion of a-C films to substrate is obtained. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2016
|
| Serie: | Обработка концентрированными потоками энергии |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=25848942 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648451 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 648451 | ||
| 005 | 20250221115513.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13608 | ||
| 090 | |a 648451 | ||
| 100 | |a 20160520d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда |d Deposition of anti-friction coatings in magnetron discharge plasma |f Ю. Н. Юрьев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 225 | 1 | |a Обработка концентрированными потоками энергии | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 38 (10 назв.)] | ||
| 330 | |a Получены a-C-пленки (1 мкм) в плазме несбалансированного дуального магнетрона путем распыления графитовых мишеней в среде аргона, которые обладают хорошими антифрикционными свойствами. Твердость и модуль упругости образцов составляют 5,8…19,6 и 64,3…185,8 ГПа соответственно, коэффициент трения не превышает 0,2. Достигнута высокая адгезионная прочность покрытий относительно подложки. | ||
| 330 | |a a-C-thin films (1 mk) were obtained in plasma of unbalanced dual magnetron by means of graphite targets sputtering in Ar environment. Hardness and elastic modulus of samples are 5.8…19.6 and 64.3…185.8 GPa. The friction coefficient is lower 0.2. The high adhesion of a-C films to substrate is obtained. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Упрочняющие технологии и покрытия |d 2005- | ||
| 463 | |t № 4 |v [С. 34-38] |d 2016 | ||
| 510 | 1 | |a Deposition of anti-friction coatings in magnetron discharge plasma |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a твердость | |
| 610 | 1 | |a коэффициент трения | |
| 701 | 1 | |a Юрьев |b Ю. Н. |c специалист в области водородной энергетики |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник |f 1984- |g Юрий Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543 |9 14839 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Зайцев |b Д. А. |c инженер Томского политехнического университета |c физик |f 1992- |g Данила Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34511 |9 17892 | |
| 701 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510 |9 17891 | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b Н. Н. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1953- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364 |9 11325 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |9 27946 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра общей физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734 |9 27183 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160520 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=25848942 |
| 942 | |c CF | ||