Способ получения поликристаллического кремния
| Autor corporatiu: | |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , , , |
| Sumari: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| Format: | Electrònic Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |
Ítems similars
Установка для получения поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ получения поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicat: ()
Publicat: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicat: ()
Publicat: ()
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: (2007)
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: (2007)
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2013)
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2013)
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicat: ()
Publicat: ()
Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2009)
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2009)
Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicat: (2009)
Publicat: (2009)
Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
per: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicat: ()
per: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicat: ()
Способ получения диоксида кремния
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)
Способ получения особо чистого кремния
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Publicat: ()
Publicat: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicat: (2009)
Publicat: (2009)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2010)
Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
per: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicat: ()
per: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicat: ()
Реактор водородного восстановления кремния
Publicat: ()
Publicat: ()
Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
per: Цивинская Ю. С.
Publicat: (2012)
per: Цивинская Ю. С.
Publicat: (2012)
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2011)
per: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicat: (2011)
Способ получения криолита
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
Способ получения фтороводорода
per: Петлин И. В. Илья Владимирович
Publicat: ()
per: Петлин И. В. Илья Владимирович
Publicat: ()
Способ получения фторида алюминия
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ получения хлорцинкатов аммония
per: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Publicat: ()
per: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Publicat: ()
Способ получения вольфрамата натрия
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ получения тетрафторида урана
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
per: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicat: ()
Способ получения фторида аммония
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
Способ получения вольфрамата аммония
Publicat: ()
Publicat: ()
Способ получения гексафторофосфата лития
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
Способ получения гидрофторида натрия
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()
per: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicat: ()