Способ получения поликристаллического кремния
| مؤلف مشترك: | Континент Энерджи |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович |
| الملخص: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| التنسيق: | الكتروني كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |
مواد مشابهة
Установка для получения поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
منشور في: ()
منشور في: ()
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2007)
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2007)
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
حسب: Кабышев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2013)
حسب: Кабышев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2013)
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: ()
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: ()
Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2009)
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2009)
Способ получения диоксида кремния
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
منشور في: ()
منشور في: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)
Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
منشور في: (2009)
منشور في: (2009)
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения особо чистого кремния
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
منشور في: (2009)
منشور في: (2009)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)
Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
منشور في: ()
منشور في: ()
Реактор водородного восстановления кремния
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
حسب: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()
حسب: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2011)
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2011)
Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
حسب: Цивинская Ю. С.
منشور في: (2012)
حسب: Цивинская Ю. С.
منشور في: (2012)
Способ получения фтороводорода
حسب: Петлин И. В. Илья Владимирович
منشور في: ()
حسب: Петлин И. В. Илья Владимирович
منشور في: ()
Способ получения криолита
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
Способ получения диборида циркония
منشور في: ()
منشور في: ()
Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
حسب: Лапатин Л. Г.
منشور في: (2009)
حسب: Лапатин Л. Г.
منشور في: (2009)
Способ получения хлорцинкатов аммония
حسب: Борисов В. А. Вадим Андреевич
منشور في: ()
حسب: Борисов В. А. Вадим Андреевич
منشور في: ()
Способ получения вольфрамата натрия
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения тетрафторида урана
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()
Способ получения гексафторофосфата лития
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
Способ получения фторида алюминия
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения вольфрамата аммония
منشور في: ()
منشور في: ()
Способ получения гидрофторида натрия
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
Способ получения трифторида калия
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
Способ получения фторида аммония
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()
Способ получения муллита из каолина
حسب: Буйновский А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()
حسب: Буйновский А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()
مواد مشابهة
-
Установка для получения поликристаллического кремния
منشور في: () -
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: () -
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: () -
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
منشور في: () -
Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()