Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

Bibliografische gegevens
Coauteur:	Континент Энерджи
Andere auteurs:	Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
Samenvatting:	опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:
Onderwerpen:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы
Online toegang:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
Formaat:	Elektronisch Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322

Gelijkaardige items

Установка для получения поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Gepubliceerd in: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Gepubliceerd in: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Gepubliceerd in: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
door: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Gepubliceerd in: (2013)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Gepubliceerd in: ()

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
door: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Gepubliceerd in: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
door: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Gepubliceerd in: (2009)

Способ получения диоксида кремния
door: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Gepubliceerd in: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
door: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Gepubliceerd in: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Gepubliceerd in: (2009)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Gepubliceerd in: ()

Способ получения особо чистого кремния
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Gepubliceerd in: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Gepubliceerd in: (2010)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Gepubliceerd in: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Gepubliceerd in: ()

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
door: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Gepubliceerd in: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
door: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Gepubliceerd in: (2011)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
door: Цивинская Ю. С.
Gepubliceerd in: (2012)

Способ получения фтороводорода
door: Петлин И. В. Илья Владимирович
Gepubliceerd in: ()

Способ получения криолита
door: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения диборида циркония
Gepubliceerd in: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
door: Лапатин Л. Г.
Gepubliceerd in: (2009)

Способ получения гидрофторида натрия
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения трифторида калия
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения вольфрамата аммония
Gepubliceerd in: ()

Способ получения хлорцинкатов аммония
door: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения вольфрамата натрия
Gepubliceerd in: ()

Способ получения тетрафторида урана
door: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения гексафторофосфата лития
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения фторида алюминия
Gepubliceerd in: ()

Способ получения фторида аммония
door: Андреев А. А. Артем Андреевич
Gepubliceerd in: ()

Способ получения рутила из ильменита
Gepubliceerd in: ()