Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Континент Энерджи
Otros Autores:	Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
Sumario:	опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
Lenguaje:	ruso
Publicado:
Materias:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы
Acceso en línea:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322

Ejemplares similares

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicado: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicado: ()

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
por: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicado: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2009)

Способ получения диоксида кремния
por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Publicado: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Publicado: ()

Способ получения особо чистого кремния
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicado: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Publicado: ()

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
por: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicado: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2011)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
por: Цивинская Ю. С.
Publicado: (2012)

Способ получения фтороводорода
por: Петлин И. В. Илья Владимирович
Publicado: ()

Способ получения криолита
por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado: ()

Способ получения диборида циркония
Publicado: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Лапатин Л. Г.
Publicado: (2009)

Способ получения хлорцинкатов аммония
por: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Publicado: ()

Способ получения вольфрамата натрия
Publicado: ()

Способ получения тетрафторида урана
por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado: ()

Способ получения гексафторофосфата лития
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Способ получения фторида алюминия
Publicado: ()

Способ получения вольфрамата аммония
Publicado: ()

Способ получения гидрофторида натрия
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Способ получения трифторида калия
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Способ получения фторида аммония
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Способ получения муллита из каолина
por: Буйновский А. С. Александр Сергеевич
Publicado: ()