Способ получения поликристаллического кремния
| 団体著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | , , , , , , |
| 要約: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| 出版事項: |
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| フォーマット: | 電子媒体 図書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |
類似資料
Установка для получения поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ получения поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
出版事項: ()
出版事項: ()
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
著者:: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版事項: (2007)
著者:: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版事項: (2007)
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
出版事項: ()
出版事項: ()
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
著者:: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版事項: (2013)
著者:: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版事項: (2013)
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
出版事項: (2009)
出版事項: (2009)
Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2009)
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2009)
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2010)
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2010)
Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
著者:: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
出版事項: ()
著者:: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
出版事項: ()
Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
出版事項: (2009)
出版事項: (2009)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2010)
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2010)
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2011)
著者:: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (2011)
Способ получения диоксида кремния
著者:: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
出版事項: ()
著者:: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
出版事項: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
出版事項: ()
出版事項: ()
Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
著者:: Цивинская Ю. С.
出版事項: (2012)
著者:: Цивинская Ю. С.
出版事項: (2012)
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ получения особо чистого кремния
著者:: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版事項: ()
著者:: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版事項: ()
Реактор водородного восстановления кремния
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
出版事項: ()
出版事項: ()
Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
著者:: Лапатин Л. Г.
出版事項: (2009)
著者:: Лапатин Л. Г.
出版事項: (2009)
Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
著者:: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
出版事項: ()
著者:: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
出版事項: ()
Способ получения фтороводорода
著者:: Петлин И. В. Илья Владимирович
出版事項: ()
著者:: Петлин И. В. Илья Владимирович
出版事項: ()
Способ получения криолита
著者:: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
出版事項: ()
著者:: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
出版事項: ()
Способ получения диборида циркония
出版事項: ()
出版事項: ()
Способ получения хлорцинкатов аммония
著者:: Борисов В. А. Вадим Андреевич
出版事項: ()
著者:: Борисов В. А. Вадим Андреевич
出版事項: ()
Способ получения вольфрамата натрия
出版事項: ()
出版事項: ()