Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Континент Энерджи
مؤلفون آخرون:	Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
الملخص:	опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
اللغة:	الروسية
منشور في:
الموضوعات:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
التنسيق:	الكتروني كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322

مواد مشابهة

Установка для получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
منشور في: ()

Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
منشور في: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
منشور في: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
حسب: Кабышев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2013)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
منشور في: ()

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2009)

Способ получения диоксида кремния
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
منشور في: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
منشور في: (2009)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
منشور في: ()

Способ получения особо чистого кремния
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
منشور في: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
منشور في: ()

Реактор водородного восстановления кремния
منشور في: ()

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
حسب: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2011)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
حسب: Цивинская Ю. С.
منشور في: (2012)

Способ получения фтороводорода
حسب: Петлин И. В. Илья Владимирович
منشور في: ()

Способ получения криолита
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()

Способ получения диборида циркония
منشور في: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
حسب: Лапатин Л. Г.
منشور في: (2009)

Способ получения хлорцинкатов аммония
حسب: Борисов В. А. Вадим Андреевич
منشور في: ()

Способ получения вольфрамата натрия
منشور في: ()

Способ получения тетрафторида урана
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: ()

Способ получения гексафторофосфата лития
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Способ получения фторида алюминия
منشور في: ()

Способ получения вольфрамата аммония
منشور في: ()

Способ получения гидрофторида натрия
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Способ получения трифторида калия
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Способ получения фторида аммония
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: ()

Способ получения муллита из каолина
حسب: Буйновский А. С. Александр Сергеевич
منشور في: ()