Способ получения поликристаллического кремния

Bibliografiske detaljer
Institution som forfatter:	Континент Энерджи
Andre forfattere:	Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
Summary:	опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
Sprog:	russisk
Udgivet:
Fag:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы
Online adgang:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322

Internet