Способ получения поликристаллического кремния
| Institutionell upphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , , , , , , |
| Sammanfattning: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| Materialtyp: | Elektronisk Bok |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |