Способ получения поликристаллического кремния

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Континент Энерджи
Άλλοι συγγραφείς: Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
Περίληψη:опубл. 20.02.13
Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
Γλώσσα:Ρωσικά
Έκδοση:
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322