Способ получения поликристаллического кремния
| Korporativní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , , , , , , |
| Shrnutí: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |