MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 648322
005 20231214154306.0
029 1 0 |a RU  |b 2475451  |c Пат.  |d МПК C 01 B 33/03  |d МПК C 01 B 33/035  |d МПК C 30 B 28/14  |d МПК C 30 B 29/06 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\13479 
035 |a RU\TPU\network\13478 
039 0 |a RU  |b 2011143238/05  |c 20111026 
090 |a 648322 
100 |a 20160517j20130220k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a k 000zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Способ получения поликристаллического кремния  |f Т. Р. Тимербулатов [и др.]  |g Континент Энерджи 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a опубл. 20.02.13 
330 |a Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. 
610 1 |a патенты 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a изобретения 
610 1 |a поликристаллический кремний 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
701 1 |a Тимербулатов  |b Т. Р.  |g Тимур Рафкатович 
701 1 |a Пинов  |b А. Б.  |g Ахсарбек Борисович 
701 1 |a Гаврилов  |b П. М.  |c специалист в области атомной энергетики  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1960-  |g Петр Михайлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697  |9 12771 
701 1 |a Прочанкин  |b А. П.  |g Александр Петрович 
701 1 |a Муравицкий  |b С. А.  |g Степан Александрович 
701 1 |a Войнов  |b О. Г.  |g Олег Георгиевич 
701 1 |a Болгов  |b М. В.  |g Михаил Викторович 
712 0 2 |a Континент Энерджи 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120201 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160517  |g RCR 
856 4 |u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf 
942 |c CF