Способ получения поликристаллического кремния

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Континент Энерджи
Weitere Verfasser: Тимербулатов Т. Р. Тимур Рафкатович, Пинов А. Б. Ахсарбек Борисович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Войнов О. Г. Олег Георгиевич, Болгов М. В. Михаил Викторович
Zusammenfassung:опубл. 20.02.13
Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния.
Sprache:Russisch
Veröffentlicht:
Schlagworte:
Online-Zugang:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf
Format: Elektronisch Buch
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322

MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 648322
005 20231214154306.0
029 1 0 |a RU  |b 2475451  |c Пат.  |d МПК C 01 B 33/03  |d МПК C 01 B 33/035  |d МПК C 30 B 28/14  |d МПК C 30 B 29/06 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\13479 
035 |a RU\TPU\network\13478 
039 0 |a RU  |b 2011143238/05  |c 20111026 
090 |a 648322 
100 |a 20160517j20130220k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a k 000zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Способ получения поликристаллического кремния  |f Т. Р. Тимербулатов [и др.]  |g Континент Энерджи 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a опубл. 20.02.13 
330 |a Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. 
610 1 |a патенты 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a изобретения 
610 1 |a поликристаллический кремний 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
701 1 |a Тимербулатов  |b Т. Р.  |g Тимур Рафкатович 
701 1 |a Пинов  |b А. Б.  |g Ахсарбек Борисович 
701 1 |a Гаврилов  |b П. М.  |c специалист в области атомной энергетики  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1960-  |g Петр Михайлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697  |9 12771 
701 1 |a Прочанкин  |b А. П.  |g Александр Петрович 
701 1 |a Муравицкий  |b С. А.  |g Степан Александрович 
701 1 |a Войнов  |b О. Г.  |g Олег Георгиевич 
701 1 |a Болгов  |b М. В.  |g Михаил Викторович 
712 0 2 |a Континент Энерджи 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120201 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160517  |g RCR 
856 4 |u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf 
942 |c CF