Способ получения поликристаллического кремния
| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , , , , , , |
| Resumo: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2013FULL/2013.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/475/451/document.pdf |
| Formato: | Recurso Electrónico Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648322 |
| Resumo: | опубл. 20.02.13 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. |
|---|