Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities

Detalles Bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 12-2.— 2012.— [С. 24-28]
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Outros autores: Borisov D. P., Koval N. N. Nikolay Nikolaevich, Korotaev A. D., Kuznetsov V. M., Romanov V. Ya., Silchenko P. N., Terekhov P. A., Chulkov E. V.
Summary:Заглавие с экрана
Characteristics and design features of electrode systems for sources of gas-discharge plasmas based on an arc discharge in gas sustained by electron emission from a hot cathode are presented. A possibility of achieving high values of the parameters of plasma generated by the proposed sources in large volumes is shown, which determines the efficiency of these sources in vacuum-plasma production facilities.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Publicado: 2012
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
дуговой разряд
горячий катод
вакуумно-плазменные технологии
Acceso en liña:http://elibrary.ru/item.asp?id=20133301
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648208

Títulos similares

Títulos similares