Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 12-2.— 2012.— [С. 24-28] |
|---|---|
| Korporacja: | |
| Kolejni autorzy: | , , , , , , , |
| Streszczenie: | Заглавие с экрана Characteristics and design features of electrode systems for sources of gas-discharge plasmas based on an arc discharge in gas sustained by electron emission from a hot cathode are presented. A possibility of achieving high values of the parameters of plasma generated by the proposed sources in large volumes is shown, which determines the efficiency of these sources in vacuum-plasma production facilities. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
2012
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20133301 |
| Format: | Elektroniczne Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648208 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 648208 | ||
| 005 | 20250219161441.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13365 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13357 | ||
| 090 | |a 648208 | ||
| 100 | |a 20160513d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities |f D. P. Borisov [et al.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 7 назв.] | ||
| 330 | |a Characteristics and design features of electrode systems for sources of gas-discharge plasmas based on an arc discharge in gas sustained by electron emission from a hot cathode are presented. A possibility of achieving high values of the parameters of plasma generated by the proposed sources in large volumes is shown, which determines the efficiency of these sources in vacuum-plasma production facilities. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 12-2 |v [С. 24-28] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a дуговой разряд | |
| 610 | 1 | |a горячий катод | |
| 610 | 1 | |a вакуумно-плазменные технологии | |
| 701 | 1 | |a Borisov |b D. P. | |
| 701 | 1 | |a Koval |b N. N. |c specialist in the field of electronics |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences |f 1948- |g Nikolay Nikolaevich |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34748 |9 18098 | |
| 701 | 1 | |a Korotaev |b A. D. | |
| 701 | 1 | |a Kuznetsov |b V. M. | |
| 701 | 1 | |a Romanov |b V. Ya. | |
| 701 | 1 | |a Silchenko |b P. N. | |
| 701 | 1 | |a Terekhov |b P. A. | |
| 701 | 1 | |a Chulkov |b E. V. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160513 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=20133301 | |
| 942 | |c CF | ||