Структура нанокристаллических покрытий ti-al-n; Известия вузов. Физика; T. 56, № 11-3
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- T. 56, № 11-3.— 2013.— [С. 39-42] |
|---|---|
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , , |
| 要約: | Заглавие с экрана Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2013
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21217990 |
| フォーマット: | MixedMaterials 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647892 |