Структура нанокристаллических покрытий ti-al-n
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- T. 56, № 11-3.— 2013.— [С. 39-42] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Language: | Russian |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21217990 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647892 |