Структура нанокристаллических покрытий ti-al-n
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- T. 56, № 11-3.— 2013.— [С. 39-42] |
|---|---|
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , , |
| 要約: | Заглавие с экрана Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2013
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21217990 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647892 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647892 | ||
| 005 | 20250218095958.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13049 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13035 | ||
| 090 | |a 647892 | ||
| 100 | |a 20160427d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Структура нанокристаллических покрытий ti-al-n |f Н. А. Тимченко [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 4 назв.] | ||
| 330 | |a Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t T. 56, № 11-3 |v [С. 39-42] |d 2013 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a титан | |
| 610 | 1 | |a xafs-спектроскопия с синхротронним излучением | |
| 701 | 1 | |a Тимченко |b Н. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1949- |g Николай Алексеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28152 |9 13110 | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Крысина |b О. В. | |
| 701 | 1 | |a Галимов |b Р. М. |c физик |c ассистент кафедры Томского политехнического университета |f 1989- |g Руслан Маликович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29640 |9 14159 | |
| 701 | 1 | |a Шмаков |b А. Н. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161017 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21217990 | |
| 942 | |c CF | ||