Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3-3
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 3-3.— 2014.— [С. 176-179] |
|---|---|
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Зондовым методом исследованы параметры газоразрядной плазмы, генерируемой дуговыми разрядами низкого давления. Выявлено их влияние на скорость травления и шероховатость стальных и твердосплавных образцов при вариации основными параметрами процесса ионно-плазменной обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2014
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21992402 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647498 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647498 | ||
| 005 | 20250212111500.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\12638 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\12637 | ||
| 090 | |a 647498 | ||
| 100 | |a 20160413d2014 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов |f О. В. Крысина [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 9 назв.] | ||
| 330 | |a Зондовым методом исследованы параметры газоразрядной плазмы, генерируемой дуговыми разрядами низкого давления. Выявлено их влияние на скорость травления и шероховатость стальных и твердосплавных образцов при вариации основными параметрами процесса ионно-плазменной обработки. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 57, № 3-3 |v [С. 176-179] |d 2014 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a дуговой разряд | |
| 610 | 1 | |a газоразрядная плазма | |
| 610 | 1 | |a параметры плазмы | |
| 610 | 1 | |a скорость травления | |
| 701 | 1 | |a Крысина |b О. В. |g Ольга Васильевна | |
| 701 | 1 | |a Лопатин |b И. В. | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Ковальский |b С. С. | |
| 701 | 1 | |a Петрикова |b Е. А. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161017 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21992402 | |
| 942 | |c CF | ||