Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3-3

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3-3

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 3-3.— 2014.— [С. 176-179]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Крысина О. В. Ольга Васильевна, Лопатин И. В., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Ковальский С. С., Петрикова Е. А.
Summary:	Заглавие с экрана Зондовым методом исследованы параметры газоразрядной плазмы, генерируемой дуговыми разрядами низкого давления. Выявлено их влияние на скорость травления и шероховатость стальных и твердосплавных образцов при вариации основными параметрами процесса ионно-плазменной обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2014
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ дуговой разряд газоразрядная плазма параметры плазмы скорость травления
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21992402
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647498

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=21992402