Повышение равномерности распределения плотности ионного тока в протяженном плазменном источнике с накалённым и полым катодом

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958-
Т. 58, № 9-2.— 2015.— [С. 278-282]
Main Author: Шугуров В. В. Владимир Викторович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Прокопенко Н. А.
Summary:Заглавие с экрана
Проведено исследование продольного распределения плотности ионного тока генератора газовой плазмы с накаленным и полым катодом. Выявлено, что распределение носит несимметричный характер с максимумом, смещенным к нижней части рабочей зоны плазмогенератора. Показано, что это распределение практически не зависит от давления рабочего газа, тока накала катодов и магнитного поля. Проведены работы по оптимизации электродной системы плазмогенератора, в результате чего неравномерность распределения плотности ионного тока была снижена с ±34 до ±13 % при сохранении среднего значения в центре рабочей камеры.
Research of longitudinal distribution of density of ionic current of the generator of gas plasma with the heated and hollow cathode is conducted in this work. It is revealed that distribution has asymmetrical character with the maximum displaced to the lower part of a working zone of a plasma generator. It was shown that this distribution practically doesn't depend on pressure of working gas, current of heat of cathodes and a magnetic field. Works on optimization of electrode system of a plasma generator therefore unevenness of distribution of density of ionic current was reduced from ±34 to ±13 % at preservation of average value in the center of the working camera equal 2.3 mA/cm 2 were carried out.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published: 2015
Subjects:
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=24993901
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647438