Сильноточный импульсный имплантер; Приборы и техника эксперимента; № 5

Сильноточный импульсный имплантер; Приборы и техника эксперимента; № 5

Bibliographic Details
Parent link:Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956-
№ 5.— 2015.— [С. 133-135]
Main Author: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Институт физики высоких технологий Кафедра техники и электрофизики высоких напряжений, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Институт физики высоких технологий Лаборатория № 1
Other Authors: Шаманин В. И. Виталий Игоревич, Ремнёв (Ремнев) Г. Е. Геннадий Ефимович
Summary:Заглавие с экрана
Описан сильноточный импульсный имплантер на основе сильноточного ионного диода с радиальным магнитным полем и предварительным плазмообразованием. Для образования плазмы на аноде диода используется импульс напряжения отрицательной полярности, предшествующий импульсу ускоряющего напряжения. Пауза между импульсами 500 ± 50 нс. В качестве эмиссионного покрытия анода используется графит. Получен ионный пучок с плотностью тока в фокальной плоскости диода до 80 А/см2. Анализ элементного состава ионного пучка с использованием времяпролетной методики показал, что ионный пучок в основном состоит из ионов углерода С+ и С+2 и протонов Н+.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2015
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
сильноточные диоды
плазмообразование
ионные пучки
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=25344402
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646480

Similar Items

Similar Items