Сильноточный импульсный имплантер
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956- № 5.— 2015.— [С. 133-135] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Enti autori: | , |
| Altri autori: | , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Описан сильноточный импульсный имплантер на основе сильноточного ионного диода с радиальным магнитным полем и предварительным плазмообразованием. Для образования плазмы на аноде диода используется импульс напряжения отрицательной полярности, предшествующий импульсу ускоряющего напряжения. Пауза между импульсами 500 ± 50 нс. В качестве эмиссионного покрытия анода используется графит. Получен ионный пучок с плотностью тока в фокальной плоскости диода до 80 А/см2. Анализ элементного состава ионного пучка с использованием времяпролетной методики показал, что ионный пучок в основном состоит из ионов углерода С+ и С+2 и протонов Н+. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2015
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=25344402 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646480 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646480 | ||
| 005 | 20250121144530.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11616 | ||
| 090 | |a 646480 | ||
| 100 | |a 20160301d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Сильноточный импульсный имплантер |f А. В. Степанов, В. И. Шаманин, Г. Е. Ремнев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 9 назв.] | ||
| 330 | |a Описан сильноточный импульсный имплантер на основе сильноточного ионного диода с радиальным магнитным полем и предварительным плазмообразованием. Для образования плазмы на аноде диода используется импульс напряжения отрицательной полярности, предшествующий импульсу ускоряющего напряжения. Пауза между импульсами 500 ± 50 нс. В качестве эмиссионного покрытия анода используется графит. Получен ионный пучок с плотностью тока в фокальной плоскости диода до 80 А/см2. Анализ элементного состава ионного пучка с использованием времяпролетной методики показал, что ионный пучок в основном состоит из ионов углерода С+ и С+2 и протонов Н+. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Приборы и техника эксперимента |o научный журнал |d 1956- | ||
| 463 | |t № 5 |v [С. 133-135] |d 2015 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a сильноточные диоды | |
| 610 | 1 | |a плазмообразование | |
| 610 | 1 | |a ионные пучки | |
| 700 | 1 | |a Степанов |b А. В. |c физик |c научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1981- |g Андрей Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28104 |9 13062 | |
| 701 | 1 | |a Шаманин |b В. И. |c физик |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1989- |g Виталий Игоревич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35455 |9 18652 | |
| 701 | 1 | |a Ремнёв (Ремнев) |b Г. Е. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Геннадий Ефимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 |9 9301 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Институт физики высоких технологий |b Кафедра техники и электрофизики высоких напряжений |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18692 |9 27145 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Институт физики высоких технологий |b Лаборатория № 1 |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 |9 27311 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160301 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=25344402 | |
| 942 | |c CF | ||