Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

書目詳細資料
企業作者:	Горно-химический комбинат (ГХК)
其他作者:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
總結:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
語言:	俄语
出版:
主題:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения крепления стержни подложки реакторы поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление хлорсиланы
在線閱讀:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
格式:	電子圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414

相似書籍

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
出版: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
出版: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
出版: ()

Способ получения поликристаллического кремния
出版: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
出版: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
出版: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
出版: ()

Способ получения поликристаллического кремния
出版: ()

Реактор водородного восстановления кремния
出版: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
出版: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
出版: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
出版: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (2010)

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель
由: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
出版: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
出版: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
由: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版: (2007)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
出版: (2009)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2013)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (Томск, 2010)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
出版: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
由: Цивинская Ю. С.
出版: (2012)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
由: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
出版: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
由: Козин К. А. Кирилл Андреевич
出版: (2011)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
由: Лапатин Л. Г.
出版: (2009)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
出版: (2012)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
出版: (2014)

Исследование нагружений и деформаций горных анкеров как пространственно-криволинейных стержней и совершенствование их элементов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.02.06
由: Мошкин Н. В. Николай Викторович
出版: (Новокузнецк, 2004)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
出版: (2020)

Исследование нагружений и деформаций горных анкеров как пространственно-криволинейных стержней и совершенствование их элементов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.02.06
由: Мошкин Н. В. Николай Викторович
出版: (Томск, 2004)

Исследование нагружений и деформаций горных анкеров как пространственно-криволинейных стержней и совершенствование их элементов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
由: Мошкин Н. В. Николай Викторович
出版: (Томск, 2004)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
由: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
出版: (2012)

Способ измерения энергии, поглощенной газом в замкнутом реакторе
由: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
出版: ()

Способ получения диоксида кремния
由: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
出版: ()

Способ получения особо чистого кремния
由: Андреев А. А. Артем Андреевич
出版: ()

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
由: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
出版: (Минск, Наука и техника, 1992)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
由: Карелин В. А. Владимир Александрович
出版: (2005)