Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Summary:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения крепления стержни подложки реакторы поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление хлорсиланы
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf