Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Altres autors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Sumari:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Idioma:	rus
Publicat:
Matèries:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения крепления стержни подложки реакторы поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление хлорсиланы
Accés en línia:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Format:	MixedMaterials Electrònic Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf