Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Awduron Eraill:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Crynodeb:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:
Pynciau:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения крепления стержни подложки реакторы поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление хлорсиланы
Mynediad Ar-lein:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Fformat:	Electronig Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414

Rhyngrwyd

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf