|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
646414 |
| 005 |
20231214155206.0 |
| 029 |
1 |
0 |
|a RU
|b 2398055
|c Пат.
|d МПК C 30 B 25/12
|d МПК C 30 B 29/06
|d МПК C 30 B 28/14
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\11550
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\11548
|
| 039 |
0 |
|
|a RU
|b 2009105425/15
|c 20090218
|
| 090 |
|
|
|a 646414
|
| 100 |
|
|
|a 20160229j20100827k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a k 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
|f П. М. Гаврилов [и др.]
|g Горно-химический комбинат (ГХК)
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a опубл. 27.08.10
|
| 330 |
|
|
|a Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
|
| 610 |
1 |
|
|a патенты
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a изобретения
|
| 610 |
1 |
|
|a крепления
|
| 610 |
1 |
|
|a стержни
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a реакторы
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a водородное восстановление
|
| 610 |
1 |
|
|a хлорсиланы
|
| 701 |
|
1 |
|a Гаврилов
|b П. М.
|c специалист в области атомной энергетики
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1960-
|g Петр Михайлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697
|9 12771
|
| 701 |
|
1 |
|a Ревенко
|b Ю. А.
|g Юрий Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Бараков
|b Б. Н.
|g Борис Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Прочанкин
|b А. П.
|g Александр Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Муравицкий
|b С. А.
|g Степан Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Стенин
|b А. А.
|g Александр Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Никулин
|b А. И.
|g Анатолий Иванович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Горно-химический комбинат (ГХК)
|c (Железногорск)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\16911
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160229
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
