Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Bibliografski detalji
Autor kompanije: Горно-химический комбинат (ГХК)
Daljnji autori: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Sažetak:опубл. 27.08.10
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Jezik:ruski
Izdano:
Teme:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
крепления
стержни
подложки
реакторы
поликристаллический кремний
полупроводниковые материалы
водородное восстановление
хлорсиланы
Online pristup:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Format: Elektronički Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414
Opis
Sažetak:опубл. 27.08.10
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.

Slični predmeti