Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Горно-химический комбинат (ГХК)
Weitere Verfasser: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Zusammenfassung:опубл. 27.08.10
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Veröffentlicht:
Schlagworte:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
крепления
стержни
подложки
реакторы
поликристаллический кремний
полупроводниковые материалы
водородное восстановление
хлорсиланы
Online-Zugang:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Format: Elektronisch Buch
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414
Beschreibung
Zusammenfassung:опубл. 27.08.10
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.

Ähnliche Einträge