Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Այլ հեղինակներ:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Ամփոփում:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:
Խորագրեր:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения крепления стержни подложки реакторы поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление хлорсиланы
Առցանց հասանելիություն:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.08.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/398/055/document.pdf
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646414

Նկարագրություն
Ամփոփում:	опубл. 27.08.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов.

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния

Նմանատիպ նյութեր