Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Перетокин А. С. Алексей Сергеевич, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Summary:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/836/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646408

Similar Items

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Published: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления
Published: (2009)

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Published: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Published: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Published: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: (2007)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2009)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Published: (2009)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Published: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2011)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Published: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
by: Цивинская Ю. С.
Published: (2012)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
Published: (2012)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
by: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Published: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
by: Лапатин Л. Г.
Published: (2009)

Способ получения диоксида кремния
by: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Published: ()

Способ получения особо чистого кремния
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: ()

Способ осушки природного газа, проточный реактор для осушки природного газа
Published: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation
Published: (2014)

Характерные особенности деформирования поликристаллического дуралюмина D1
Published: (2009)

Способ получения фильтрующего материала
Published: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
Published: (2020)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
by: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Published: ()

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты № 2020133873 заявлено: 15.10.2020 опубликовано: 17.05.2021
Published: ()

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана
by: Ким А. Б. Алексей Богович
Published: (2014)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния
by: Карелин В. А. Владимир Александрович
Published: (2005)