Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Перетокин А. С. Алексей Сергеевич, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Summary:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/836/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646408

Internet