Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Altri autori:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Перетокин А. С. Алексей Сергеевич, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Riassunto:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Lingua:	russo
Pubblicazione:
Soggetti:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление
Accesso online:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/836/document.pdf
Natura:	MixedMaterials Elettronico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646408

Accesso online