Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Горно-химический комбинат (ГХК)
مؤلفون آخرون:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Перетокин А. С. Алексей Сергеевич, Никулин А. И. Анатолий Иванович
الملخص:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
منشور في:
الموضوعات:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы водородное восстановление
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/836/document.pdf
التنسيق:	الكتروني كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646408

الوصف
الملخص:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

مواد مشابهة