Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Outros autores:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович
Summary:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые пропусканием электрического тока кремниевые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Idioma:	ruso
Publicado:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы электрический ток водородное восстановление хлорсиланы
Acceso en liña:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/835/document.pdf
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646407

Títulos similares

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicado: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicado: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Publicado: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Publicado: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Publicado: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicado: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: (2007)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2009)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicado: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2012)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2011)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
por: Цивинская Ю. С.
Publicado: (2012)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
por: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicado: ()

Способ получения диоксида кремния
por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado: ()

Способ получения особо чистого кремния
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Лапатин Л. Г.
Publicado: (2009)

Способ осушки природного газа, проточный реактор для осушки природного газа
Publicado: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicado: (2014)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
por: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicado: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Publicado: (2020)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
por: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicado: (2012)

Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты: № 2020133873; заявлено: 15.10.2020; опубликовано: 17.05.2021
Publicado: ()

Способ получения гексафторида низкообогащенного урана из высокообогащенного урана
Publicado: ()

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
por: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1992)

Способ получения фильтрующего материала
Publicado: ()

Порядок восстановления действия патента Российской Федерации на изобретение, полезную модель, промышленный образец
Publicado: (Москва, Федеральный институт промышленной собственности, 2003)