Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович
Summary:	опубл. 27.02.10 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые пропусканием электрического тока кремниевые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения разъемные реакторы стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы электрический ток водородное восстановление хлорсиланы
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/835/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646407

Internet