Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния

ग्रंथसूची विवरण
निगमित लेखक: Горно-химический комбинат (ГХК)
अन्य लेखक: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович
सारांश:опубл. 27.02.10
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые пропусканием электрического тока кремниевые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
भाषा:रूसी
प्रकाशित:
विषय:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
разъемные реакторы
стержни
поликристаллический кремний
полупроводниковые материалы
электрический ток
водородное восстановление
хлорсиланы
ऑनलाइन पहुंच:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/835/document.pdf
स्वरूप: इलेक्ट्रोनिक पुस्तक
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646407

इंटरनेट

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.02.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/382/835/document.pdf

समान संसाधन