Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Буренков А. Ф. Александр Федорович, Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Кумахов М. А. Мурадин Абубекирович, Темкин М. М. Михаил Матвеевич
اللغة:الروسية
منشور في: Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980
الموضوعات:
التنسيق: كتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=64639