Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )
| Other Authors: | , , , |
|---|---|
| Published: |
Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=64639 |