|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
64639 |
| 005 |
20231031065820.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\68591
|
| 090 |
|
|
|a 64639
|
| 100 |
|
|
|a 20040604d1980 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )
|f А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Изд-во Белорусского ГУ
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 352 с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 345-348
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-имплантированные примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a таблицы
|
| 610 |
1 |
|
|a пространственное распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a теория
|
| 610 |
1 |
|
|a методы расчета
|
| 610 |
1 |
|
|a уравнения
|
| 675 |
|
|
|a 537.5(083)
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Буренков
|b А. Ф.
|g Александр Федорович
|
| 701 |
|
1 |
|a Комаров
|b Ф. Ф.
|g Фадей Фадеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Кумахов
|b М. А.
|g Мурадин Абубекирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Темкин
|b М. М.
|g Михаил Матвеевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040604
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20091215
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
