Буренков А. Ф. Александр Федорович, Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Кумахов М. А. Мурадин Абубекирович, & Темкин М. М. Михаил Матвеевич. (1980). Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей: (Теория, метод расчета, таблицы ). Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980.
Cita Chicago (17th ed.)Буренков А. Ф. Александр Федорович, Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Кумахов М. А. Мурадин Абубекирович, i Темкин М. М. Михаил Матвеевич. Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей: (Теория, метод расчета, таблицы ). Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980, 1980.
Cita MLA (9th ed.)Буренков А. Ф. Александр Федорович, et al. Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей: (Теория, метод расчета, таблицы ). Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980, 1980.