Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

Bibliografske podrobnosti
Korporativna značnica:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Drugi avtorji:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович
Izvleček:	опубл. 10.06.09 Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.
Jezik:	ruščina
Izdano:
Teme:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний химическая технология хлорсиланы кремниевые стержни химическая промышленность электронная промышленность
Online dostop:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf
Format:	Elektronski Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383

Podobne knjige/članki

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Izdano: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Izdano: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Izdano: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Izdano: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Izdano: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Izdano: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Izdano: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: (2007)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Izdano: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (2010)

Реактор водородного восстановления кремния
Izdano: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
od: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Izdano: (2013)

Способ получения высококремнеземного цеолита
od: Коробицина Л. Л.
Izdano: ()

Способ активации катализатора
Izdano: ()

Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров
Izdano: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (2009)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (Томск, 2010)

Способ получения трифторида азота
Izdano: ()

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Izdano: (2009)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (Томск, 2010)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
od: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Izdano: ()

Способ получения диоксида кремния
od: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Izdano: ()

Способ получения особо чистого кремния
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Izdano: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (2010)

Способ умягчения воды
Izdano: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Izdano: ()

Способ получения низших олефинов
Izdano: ()

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
od: Цивинская Ю. С.
Izdano: (2012)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
od: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Izdano: (2011)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
od: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Izdano: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
od: Лапатин Л. Г.
Izdano: (2009)

Способ получения криолита
od: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Izdano: ()

Способ получения фтороводорода
od: Петлин И. В. Илья Владимирович
Izdano: ()

Кн. 1; Технология СБИС
Izdano: (1986)

Способ получения вольфрамата аммония
Izdano: ()

Способ получения хлорцинкатов аммония
od: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Izdano: ()