Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Outros Autores:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович
Resumo:	опубл. 10.06.09 Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.
Idioma:	russo
Publicado em:
Assuntos:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний химическая технология хлорсиланы кремниевые стержни химическая промышленность электронная промышленность
Acesso em linha:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf
Formato:	Recurso Electrónico Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383

Registos relacionados

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado em: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicado em: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado em: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicado em: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Publicado em: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicado em: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
Por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado em: (2007)

Реактор водородного восстановления кремния
Publicado em: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (2010)

Способ получения высококремнеземного цеолита
Por: Коробицина Л. Л.
Publicado em: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
Por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado em: (2013)

Способ активации катализатора
Publicado em: ()

Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров
Publicado em: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (Томск, 2010)

Способ получения трифторида азота
Publicado em: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (Томск, 2010)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
Por: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Publicado em: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (2009)

Способ получения диоксида кремния
Por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado em: ()

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado em: (2009)

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Publicado em: ()

Способ получения особо чистого кремния
Por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado em: ()

Способ умягчения воды
Publicado em: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado em: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (2010)

Способ получения низших олефинов
Publicado em: ()

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
Por: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Publicado em: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado em: (2011)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
Por: Цивинская Ю. С.
Publicado em: (2012)

Способ получения фтороводорода
Por: Петлин И. В. Илья Владимирович
Publicado em: ()

Способ получения криолита
Por: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Publicado em: ()

Устройство для определения компонентного состава потока многофазной жидкости: полезная модель
Por: Черепенников Ю. М. Юрий Михайлович
Publicado em: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
Por: Лапатин Л. Г.
Publicado em: (2009)

Способ получения гидрофторида натрия
Por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado em: ()

Способ получения трифторида калия
Por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado em: ()